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德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统-NanoFrazor Explore
NanoFrazor Explore是一款具备激光直写和灰度光刻功能的热探针光刻解决方案，由德国海德堡仪器公司开发。作为一款经济实惠的热探针光刻工具，它适用于1D/2D材料的纳米结构制造，并支持多种新材料的应用。该设备能够通过加热探针对材料进行局部改性，实现化学反应和物理相变，适用于量子器件、灰度光子学设备等先进应用。
所属分类：
海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS
产品编号：
无
- 产品描述
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德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统- NanoFrazor Explore
是一款由海德堡仪器公司开发的高效能数字光刻解决方案，专为批量生产设计。它具备2μm线宽的高分辨率、高速度和高效能的特点，支持24小时不间断运行。该设备配备了全自动硅片装卸系统，并通过简易的自动化操作软件简化了工作流程。适用于多种高科技产品的制造，如IC传感器、MEMS、集成电路、OLED显示器、Micro LED和封装应用。
NanoFrazor Explore是一款具备激光直写和灰度光刻功能的热探针光刻解决方案，由德国海德堡仪器公司开发。作为一款经济实惠的热探针光刻工具，它适用于1D/2D材料的纳米结构制造，并支持多种新材料的应用。该设备能够通过加热探针对材料进行局部改性，实现化学反应和物理相变，适用于量子器件、灰度光子学设备等先进应用。
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