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德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统-NanoFrazor
德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统-NanoFrazor
所属分类:
海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS
产品编号:
无
- 产品描述
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德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统-NanoFrazor
是一款由海德堡仪器公司开发的高效能数字光刻解决方案,专为批量生产设计。它具备2μm线宽的高分辨率、高速度和高效能的特点,支持24小时不间断运行。该设备配备了全自动硅片装卸系统,并通过简易的自动化操作软件简化了工作流程。适用于多种高科技产品的制造,如IC传感器、MEMS、集成电路、OLED显示器、Micro LED和封装应用
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