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德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统-NanoFrazor

德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统-NanoFrazor

所属分类:

海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS

产品编号:


  • 产品描述
  • 德国海德堡 热探针扫描3D纳米结构光刻系统-NanoFrazor

    是一款由海德堡仪器公司开发的高效能数字光刻解决方案,专为批量生产设计。它具备2μm线宽的高分辨率、高速度和高效能的特点,支持24小时不间断运行。该设备配备了全自动硅片装卸系统,并通过简易的自动化操作软件简化了工作流程。适用于多种高科技产品的制造,如IC传感器、MEMS、集成电路、OLED显示器、Micro LED和封装应用

     

     

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