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德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机

德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机 适合科研领域的实验室与学术研究所 μMLA是新一代桌面式激光直写仪的技术,在科研微结构的应用领域中是一台入门级的工具。

所属分类:

海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS

产品编号:


  • 产品描述
  • 德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机

    适合科研领域的实验室与学术研究所
    μMLA是新一代桌面式激光直写仪的技术,在科研微结构的应用领域中是一台入门级的工具。

    μMLA具有灵活性和可定制性,可支持毫米大小范围的样品。

    主要产业应用有:半导体芯片、微机电、微流体、微光学、传感器、掩膜版以及其它有微纳米结构需求的科研领域。

     

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