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德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机
德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机 适合科研领域的实验室与学术研究所 μMLA是新一代桌面式激光直写仪的技术,在科研微结构的应用领域中是一台入门级的工具。
所属分类:
海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS
产品编号:
无
- 产品描述
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德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机
适合科研领域的实验室与学术研究所
μMLA是新一代桌面式激光直写仪的技术,在科研微结构的应用领域中是一台入门级的工具。μMLA具有灵活性和可定制性,可支持毫米大小范围的样品。
主要产业应用有:半导体芯片、微机电、微流体、微光学、传感器、掩膜版以及其它有微纳米结构需求的科研领域。
关键词:
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