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德国海德堡 VPG* 1400 FPD /VPG* 1850 FPD Volume Pattern Generators
VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400大尺寸超高速图形发生器是先进的掩膜版制作设备，适用于先进封装、半导体、显示器、彩色滤光片、LED和触摸屏等领域。该系统支持多种数据格式并具备Mura优化功能，确保高分辨率和CD均匀性。其中，VPG+1400为最大型号，专为显示器和FPD应用设计，具有高精度设备架构和差分干涉仪
所属分类：
海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS
产品编号：
无
- 产品描述
-
VPG+ 1850 FPD Volume Pattern Generators
曝光模式：投影式
分辨率：12.5nm
光源：High power DPSS laser with 355 nm
光强均匀性：65nm
曝光面积：
800 x 800 mm2 / 1100 x 1100 mm2 / 1400 x 1400 mm2VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400大尺寸超高速图形发生器是先进的掩膜版制作设备，适用于先进封装、半导体、显示器、彩色滤光片、LED和触摸屏等领域。该系统支持多种数据格式并具备Mura优化功能，确保高分辨率和CD均匀性。其中，VPG+1400为最大型号，专为显示器和FPD应用设计，具有高精度设备架构和差分干涉仪。
VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400
大尺寸超高速圖形發生器
关键词：
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