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德国海德堡 DWL2000GS/DWL4000GS大幅面无掩膜三维激光直写光刻机/灰度直写光刻
德国海德堡 DWL2000GS/DWL4000GS大幅面无掩膜三维激光直写光刻机/灰度直写光刻
所属分类：
海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS
产品编号：
无
- 产品描述
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德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。
应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。
销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的伙伴。
高精密无掩膜激光直写机是高灵活性与高精度的光刻解决方案，适用于多种高分辨率图形生成任务。该系统能够实现最高500nm的分辨率，并支持二维曝光及灰度曝光模式，适用于厚光刻胶中的复杂结构制造。其应用范围涵盖MEMS、BioMEMS、微光学、集成电路等多个高科技领域。
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