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德国海德堡 MLA300自动化无掩膜光刻系统/激光直写光刻机
MLA300是一款由海德堡仪器公司开发的高效能数字光刻解决方案，专为批量生产设计。它具备2μm线宽的高分辨率、高速度和高效能的特点，支持24小时不间断运行。该设备配备了全自动硅片装卸系统，并通过简易的自动化操作软件简化了工作流程。MLA300适用于多种高科技产品的制造，如IC传感器、MEMS、集成电路、OLED显示器、Micro LED和封装应用。
所属分类：
海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS
产品编号：
无
- 产品描述
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MLA300是一款由海德堡仪器公司开发的高效能数字光刻解决方案，专为批量生产设计。它具备2μm线宽的高分辨率、高速度和高效能的特点，支持24小时不间断运行。该设备配备了全自动硅片装卸系统，并通过简易的自动化操作软件简化了工作流程。MLA300适用于多种高科技产品的制造，如IC传感器、MEMS、集成电路、OLED显示器、Micro LED和封装应用
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