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德国海德堡 DWL66+无掩膜激光直写光刻机/灰度直写光刻
德国海德堡 DWL66+无掩膜激光直写光刻机/灰度直写光刻
所属分类：
海德堡 HEIDELBERG INSTRUMENTS
产品编号：
无
- 产品描述
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德国海德堡 DWL66+无掩膜激光直写光刻机/灰度直写光刻
多种直写模块及灰度光刻 实现各种精度需求
DWL66+ 激光光刻系统是具经济效益、具有高分辨率的图形发生器。适用于小批量掩膜版制作和直写需求。
DWL66+拥有多种选配模块,例如:正面和背面对准系统；405nm和375nm波长的激光发生器；进阶选配：精度校准和自动上下板加载系统。
DWL66+的高度灵活和可定制的解决方案，专门为您的应用量身定做，已成为生命科学、先进封装、MEMS、微光学、半导体和所有其他需要微结构的应用中必不可缺少的光刻研究工具。
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