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ZEPTOOLS 泽攸 全自动台阶仪JS2000C/3000C
全自动台阶仪JS2000C/3000C
所属分类：
ZEPTOOLS泽攸科技
产品编号：
无
0.5nm重复精度台阶仪, 进口自动台阶仪替代, 批量晶圆测试设备, 透明晶圆测量方案
泽攸科技JS2000C全自动台阶仪——0.5nm超高精度晶圆量产检测系统。集成EFEM自动传输+双摄像头对位，支持8寸晶圆批量处理（≥10片/小时），±10um定位精度满足半导体在线检测需
作为国产高精度表面测量设备的代表，凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能，可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。
关键词：
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ZEPTOOLS 泽攸 全自动台阶仪ZS2000A/3000A
ZEPTOOLS 泽攸 ZEL304G电子束光刻机
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