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- 产品介绍
- 产品参数
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真空测量和控制仪表、残余气体分析仪、泵控制器
在众多真空系统和过程中，需要测量真空性能。
使用真空计测量的压力范围较宽。
其测量范围可从高于大气压 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 的压力到低至 10-12 mbar/torr 的压力，没有哪一种传感器技术能够覆盖如此宽泛的测量范围。
因此，真空计有多种类型，每种真空计都有自己的特点，能够在各自的量程内测量真空。
为了扩大测量范围，可以将多种技术组合到一个真空计中，以减少系统中所需的连接。
真空测量原理分类：直接测量和间接测量。
- 如果是直接测量（测量结果气体种类无关），通过真空计获得的读数与气体类型无关，测得的压力是系统的真实压力。这些真空计通常依靠膜片的机械偏转来运行，其测量范围是从高于大气压力至 10-4 mbar/torr 压力。此类真空计可以在较小量程内提供高精度，并且通常非常坚固。
- 如果是间接测量，测量通过气体相关特性（例如热导率、电离概率）进行测定。这些特性不仅取决于压力，还取决于气体的摩尔质量，所以测量结果与气体种类相关。真空计读数以的空气或氮气标定，对于其他蒸汽或气体，必须增加相应的修正系数。此类真空计能够在更广的范围（大气压至 10 x 10-12mbar 压力，具体取决于真空计类型/组合）测量，但精度略低。
区分真空计的另一个判断依据是传感器还是变送器。Leybold 莱宝既提供真空变送器，也提供真空传感器。
- 真空变送器是指将传感器与信号控制和输出电子器件结合在一起，以便轻松集成到系统中。
- 无源测量是指将传感器与电子器件分离，然后将电子器件单独保留在专用控制器中。其优点是，它们可在电子器件无法正常工作的环境（例如高辐射环境）中使用，并且可以从上述环境中移除单独的控制器。
...阅读更多内容
- 宽量程真空测量
- 便携式和机械式真空测量
- 精密真空测量
- 残余气体分析仪
- 真空计和真空泵控制器
- 附件
宽量程真空测量
稳健、可靠和准确的压力测量
- THERMOVAC TTR/TR 系列 - 特别适用于监控粗真空和前级真空。
- PENNINGVAC PTR/PR 系列 – 支持高真空测量，也称为全量程真空计。
- IONIVAC ITR/IE 系列 – 将真空计量程扩展到超高真空范围。
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在众多真空系统和过程中，需要测量真空性能。
使用真空计测量的压力范围较宽。
其测量范围可从高于大气压 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 的压力到低至 10-12 mbar/torr 的压力，没有哪一种传感器技术能够覆盖如此宽泛的测量范围。
因此，真空计有多种类型，每种真空计都有自己的特点，能够在各自的量程内测量真空。
为了扩大测量范围，可以将多种技术组合到一个真空计中，以减少系统中所需的连接。
真空测量原理分类：直接测量和间接测量。
- 如果是直接测量（测量结果气体种类无关），通过真空计获得的读数与气体类型无关，测得的压力是系统的真实压力。这些真空计通常依靠膜片的机械偏转来运行，其测量范围是从高于大气压力至 10-4 mbar/torr 压力。此类真空计可以在较小量程内提供高精度，并且通常非常坚固。
- 如果是间接测量，测量通过气体相关特性（例如热导率、电离概率）进行测定。这些特性不仅取决于压力，还取决于气体的摩尔质量，所以测量结果与气体种类相关。真空计读数以的空气或氮气标定，对于其他蒸汽或气体，必须增加相应的修正系数。此类真空计能够在更广的范围（大气压至 10 x 10-12mbar 压力，具体取决于真空计类型/组合）测量，但精度略低。
区分真空计的另一个判断依据是传感器还是变送器。Leybold 莱宝既提供真空变送器，也提供真空传感器。
- 真空变送器是指将传感器与信号控制和输出电子器件结合在一起，以便轻松集成到系统中。
- 无源测量是指将传感器与电子器件分离，然后将电子器件单独保留在专用控制器中。其优点是，它们可在电子器件无法正常工作的环境（例如高辐射环境）中使用，并且可以从上述环境中移除单独的控制器。
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- 附件
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- THERMOVAC TTR/TR 系列 - 特别适用于监控粗真空和前级真空。
- PENNINGVAC PTR/PR 系列 – 支持高真空测量，也称为全量程真空计。
- IONIVAC ITR/IE 系列 – 将真空计量程扩展到超高真空范围。
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