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- 产品介绍
- 产品参数
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HyTan NEG-离子组合泵
将 NEG 和离子泵这两种技术组合到配备可更换模块的紧凑型超高真空泵中，非常适合在空间有限且需要多功能性的应用中使用。
- 用途广 - 可选择 6 个 NEG 和 6 个离子泵模块，氢气泵送速度为 100 – 500 l/s。
- 可定制 - 这种超高真空泵可更换优质传统二极管元件，提供 2 种离子泵馈通方式和可更换模块，能够支持多种应用。
- 紧凑型 - HyTan NEG-离子泵比前代产品小很多，甚至可以安装在真空室内，尽可能提高了空间利用效率。
- 效率高 - 低功耗和可更换零件有助于减少超高真空泵占地面积和总拥有成本。
HyTan NEG-离子泵
钛离子泵、NEG 泵和 TSP 泵
超高真空泵系统
全系列无振动、免维护的钛离子泵、钛升华泵 (TSP) 和非蒸发型吸气剂(NEG) 泵，可在超高真空中实现出众的极限压力。
- 在超高真空下具有高抽速
- 无烃真空
- 长时间运行
- 整体解决方案
- 抽速 0.2 - 1200 l/s
- 极限真空 < 1 x 10-11mbar
NEG 泵
提供各种符合不同要求的钛离子泵元件：
- 含钛阴极的 TiTan CV，用于抽取空气和活性气体。
- TiTan DI 用于抽取空气和活性气体，以及稳定抽吸惰性气体（钛和钽阴极）
- TiTan TR - 经典三极管技术，可在高压范围内实现更高的抽速，对惰性气体抽速稳定。
- 多种 NEG 泵和 TSP 泵，可供单独使用或集成到 TiTan 离子泵中。
- TiTan、NEG 和 TSP 组件可达到 450 °C 的烘烤除气温度。
- 提供多种附件。
- 用于操作离子泵的 DIGITEL 控制器型号。
- 面向不同应用、具有不同配置的 TSP 泵和 NEG 泵。
- 高真空电缆用于连接控制器和离子泵。
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